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1. (WO2018167936) 露光装置及びリソグラフィ方法、並びにデバイス製造方法

Pub. No.:    WO/2018/167936    International Application No.:    PCT/JP2017/010823
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 18 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/027
G03F 7/20
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: SATO, Shinji
佐藤 真路
Title: 露光装置及びリソグラフィ方法、並びにデバイス製造方法
Abstract:
電子ビーム(EB3)を照射してターゲット(W)を露光する露光装置は、ターゲット(W)の面に平行なXY平面内でX軸方向及びこれに交差する方向に沿って配列された複数の開口(28a)を有するブランキングアパーチャアレイ(29)と、複数の開口(28a)をそれぞれ通過した電子ビーム(EB3)をターゲットWに照射する光学系(38A、38B、38C、38D)とを有し、複数の開口(28a)は、ターゲットに照射される複数の電子ビームの位置ずれが許容値以下となるように配列される照射装置(20)を備えている。複数の開口(28a)の配列は、電子ビーム間の距離を変化させて得られる、電子ビーム間に働くクーロン力に起因するターゲットに照射されるビームの位置情報を考慮して定められている。