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1. (WO2018164217) 感光性樹脂組成物、エッチング方法及びめっき方法

Pub. No.:    WO/2018/164217    International Application No.:    PCT/JP2018/008940
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/027
C08F 2/48
C08F 2/50
C08F 290/06
C08J 7/04
G03F 7/031
H05K 3/06
H05K 3/18
Applicants: MITSUBISHI PAPER MILLS LIMITED
三菱製紙株式会社
Inventors: IRISAWA, Munetoshi
入澤 宗利
KAJIYA, Kunihito
梶谷 邦人
TOYODA, Yuji
豊田 裕二
Title: 感光性樹脂組成物、エッチング方法及びめっき方法
Abstract:
(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)アクリレートモノマーを含有し、(D)メタクリレートモノマーをさらに含有してもよく、 前記(C)アクリレートモノマーは(C1)二重結合当量250以上のアクリレートモノマーおよび(C2)二重結合当量150以下のアクリレートモノマーを含有し、 前記(C)アクリレートモノマーに対して、(D)メタクリレートモノマーの含有量は0~5質量%であり、(C1)二重結合当量250以上のアクリレートモノマーの含有量は40~60質量%であり、(C2)二重結合当量150以下のアクリレートモノマーの含有量は40~60質量%であり、 感光性樹脂組成物に対して、前記(B)光重合開始剤の含有量が0.5~1.5質量%である 感光性樹脂組成物、並びに前記感光性樹脂組成物を使用したエッチング方法及びめっき方法。