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1. (WO2018164197) 多結晶シリコン加工品の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/164197    International Application No.:    PCT/JP2018/008827
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 08 00:59:59 CET 2018
IPC: C01B 33/035
Applicants: TOKUYAMA CORPORATION
株式会社トクヤマ
Inventors: AKIYOSHI Ayao
秋吉 彩生
Title: 多結晶シリコン加工品の製造方法
Abstract:
【課題】ジーメンス法により得られた多結晶シリコンロッドを取り扱う際に、上記多結晶シリコンロッド端部に存在するカーボン部材による、多結晶シリコンロッド表面のカーボン汚染を防止する工程を含む、多結晶シリコン加工品の新規な製造方法を提供する。 【解決手段】 ジーメンス法による反応器内で電極に接続したカーボン部材に保持されたシリコン芯線に多結晶シリコンを析出せしめて得られた多結晶シリコンロッドを、その端部に上記カーボン部材を含む状態で取り出し、これを加工する方法において、上記多結晶シリコンロッドを上記電極から取り外し、加工するまでの間に、上記多結晶シリコンロッドの端部に存在するカーボン部材を、被覆材を用いて被覆することにより、多結晶シリコンロッドとカーボン部材とを隔離した状態で取り扱う工程を含むことを特徴とする、多結晶シリコン加工品の製造方法を提供する。