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1. (WO2018164083) 成膜方法
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国際公開番号: WO/2018/164083 国際出願番号: PCT/JP2018/008442
国際公開日: 13.09.2018 国際出願日: 06.03.2018
IPC:
C23C 16/27 (2006.01) ,A61F 2/06 (2013.01) ,A61L 27/30 (2006.01) ,A61L 27/50 (2006.01) ,A61L 27/56 (2006.01) ,A61L 29/10 (2006.01) ,A61L 29/14 (2006.01) ,A61M 25/00 (2006.01) ,C01B 32/05 (2017.01) ,C23C 16/503 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
22
金属質材料以外の無機質材料の析出に特徴のあるもの
26
炭素のみの析出
27
ダイヤモンドのみの析出
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
F
血管へ埋め込み可能なフィルター;補綴;人体の管状構造を開存させるまたは虚脱を防ぐ装置,例.ステント;整形外科用具,看護用具または避妊用具;温湿布;目または耳の治療または保護;包帯;被覆用品または吸収性パッド;救急箱
2
血管への植え込み可能なフィルター;補綴,すなわち,身体の各部分のための人工的代用品または代替物;身体とそれらを結合するための器具;人体の管状構造を開存させるまたは虚脱を防ぐ装置,例.ステント
02
身体内への植込み式人工器官
04
器官の中空部分または管状部分,例.膀胱,気管,気管支または胆管
06
血管
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
L
材料またはものを殺菌するための方法または装置一般;空気の消毒,殺菌または脱臭;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品の化学的事項;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品のための材料
27
補綴または補綴用品のコーティングのための材料
28
補綴用品のコーティング用の材料
30
無機材料
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
L
材料またはものを殺菌するための方法または装置一般;空気の消毒,殺菌または脱臭;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品の化学的事項;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品のための材料
27
補綴または補綴用品のコーティングのための材料
50
機能または物理的特性に特徴のある材料
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
L
材料またはものを殺菌するための方法または装置一般;空気の消毒,殺菌または脱臭;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品の化学的事項;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品のための材料
27
補綴または補綴用品のコーティングのための材料
50
機能または物理的特性に特徴のある材料
56
多孔性または多泡性材料
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
L
材料またはものを殺菌するための方法または装置一般;空気の消毒,殺菌または脱臭;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品の化学的事項;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品のための材料
29
カテーテルのための,またはカテーテルのコーティング用の材料
08
コーティング用の材料
10
無機材料
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
L
材料またはものを殺菌するための方法または装置一般;空気の消毒,殺菌または脱臭;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品の化学的事項;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品のための材料
29
カテーテルのための,またはカテーテルのコーティング用の材料
14
機能または物理的特性に特徴のある材料
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
M
人体の中へ,または表面に媒体を導入する装置;人体用の媒体を交換する,または人体から媒体を除去するための装置;眠りまたは無感覚を生起または終らせるための装置
25
カテーテル;中空探針
[IPC code unknown for C01B 32/05]
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
44
被覆の方法に特徴のあるもの
50
放電を用いるもの
503
交流または直流放電を使用するもの
出願人:
ストローブ株式会社 STRAWB INC. [JP/JP]; 神奈川県横浜市緑区長津田町4259-3 東工大横浜ベンチャープラザW306 Tokyo Institute of Technology Yokohama Venture Plaza W306, 4259-3, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2268510, JP
学校法人加計学園 KAKE EDUCATIONAL INSTITUTION [JP/JP]; 岡山県岡山市北区理大町1-1 1-1, Ridai-cho, Kita-ku, Okayama-shi, Okayama 7000005, JP
国立大学法人 岡山大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION OKAYAMA UNIVERSITY [JP/JP]; 岡山県岡山市北区津島中一丁目1番1号 1-1, Tsushima-Naka 1-chome, Kita-ku, Okayama-shi, Okayama 7008530, JP
発明者:
今井 裕一 IMAI Yuichi; JP
中谷 達行 NAKATANI Tatsuyuki; JP
大澤 晋 OZAWA Susumu; JP
藤井 泰宏 FUJII Yasuhiro; JP
内田 治仁 UCHIDA Haruhito; JP
代理人:
特許業務法人前田特許事務所 MAEDA & PARTNERS; 大阪府大阪市北区堂島浜1丁目2番1号 新ダイビル23階 Shin-Daibiru Bldg. 23F, 2-1, Dojimahama 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300004, JP
優先権情報:
2017-04203706.03.2017JP
発明の名称: (EN) FILM FORMATION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜方法
要約:
(EN) A film formation method is provided with a step for disposing a non-electroconductive long thin tube 102 in a chamber 101 in which the internal pressure thereof is adjustable, generating a plasma inside the long thin tube 102 in a state in which a starting material gas including a hydrocarbon is supplied, and forming a diamond-like carbon film on an inner wall surface of the long thin tube 102. The long thin tube 102 is disposed in the chamber 101 in a state in which a discharge electrode 125 is disposed in one end part of the long thin tube 102 and the other end part is open. An alternating-current bias is intermittently applied between the discharge electrode 125 and a counter electrode 126 provided so as to be separated from the long thin tube 102.
(FR) L'invention concerne un procédé de formation de film qui comporte une étape consistant à disposer un long tube mince (102), non électroconducteur, dans une chambre (101) dont la pression interne peut être réglée, à produire un plasma à l'intérieur du long tube mince (102) tout en fournissant un gaz de départ comprenant un hydrocarbure, et à former un film de carbone de type diamant sur une surface de paroi interne du long tube mince (102). Le long tube mince (102) est disposé dans la chambre (101), une électrode de décharge (125) étant disposée dans une partie d'extrémité du long tube mince (102), l'autre partie d'extrémité étant ouverte. Une sollicitation de courant alternatif est appliquée par intermittence entre l'électrode de décharge (125) et une contre-électrode (126) disposée de manière à être séparée du long tube mince (102).
(JA) 成膜方法は、内部圧力を調整可能なチャンバ101内に、非導電性の長尺細管102を配置し、炭化水素を含む原料ガスを供給した状態において、長尺細管102の内部にプラズマを発生させて、長尺細管102の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を備えている。長尺細管102は、一方の端部に放電電極125が配置され、他方の端部は開放された状態で、チャンバ101内に配置する。放電電極125と、長尺細管102から離間して設けられた対向電極126との間に断続的に交流バイアスを印加する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)