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1. (WO2018164011) クライオポンプ
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国際公開番号: WO/2018/164011 国際出願番号: PCT/JP2018/008132
国際公開日: 13.09.2018 国際出願日: 02.03.2018
IPC:
F04B 37/08 (2006.01) ,F04B 37/16 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
B
液体用容積形機械;ポンプ
37
特に圧縮性流体のための、グループ25/00から35/00に分類されない適切な特徴,またはそれらのグループにはない注目すべき特徴をもつポンプ
06
熱手段によるもの
08
凝縮または凍結によるもの,例.クライオンポンプ
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
B
液体用容積形機械;ポンプ
37
特に圧縮性流体のための、グループ25/00から35/00に分類されない適切な特徴,またはそれらのグループにはない注目すべき特徴をもつポンプ
10
特殊用途のもの
14
高い真空度を得るもの
16
真空にするための装置
出願人:
住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都品川区大崎2丁目1番1号 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku Tokyo 1416025, JP
発明者:
下村 誠 SHIMOMURA Makoto; JP
代理人:
森下 賢樹 MORISHITA Sakaki; JP
優先権情報:
2017-04644210.03.2017JP
発明の名称: (EN) CRYOPUMP
(FR) POMPE CRYOGÉNIQUE
(JA) クライオポンプ
要約:
(EN) The cryopump 10 is provided with: a freezer 16 comprising a room-temperature part, a first cooling stage, and a second cooling stage; and a cryopump housing 70 comprising a radiation shield thermally coupled to the first cooling stage and surrounding the second cooling stage without making contact with the second cooling stage, a shield housing part 74 which has an intake port 12 and a housing bottom surface 70a disposed on the opposite side from the intake port 12 and which surrounds the radiation shield without making contact with the radiation shield, and a freezer housing part 76 which connects the shield housing part 74 to the room-temperature part 26 of the freezer 16. A first heater 84 disposed on an outer surface of the freezer housing part 76, or a second heater disposed on the housing bottom surface 70a, or a heat transfer member thermally coupled to the first cooling stage and disposed in a gap between the freezer housing part 76 and the freezer 16 is provided so as to apply heat into the cryopump housing 70 from the outside.
(FR) L'invention concerne une pompe cryogénique (10) comportant : un élément de réfrigération (16) comprenant une partie à température ambiante, un premier étage de refroidissement et un second étage de refroidissement ; et un carter de pompe cryogénique (70) comprenant un écran anti-rayonnement accouplé thermiquement au premier étage de refroidissement et entourant le second étage de refroidissement sans entrer en contact avec le second étage de refroidissement, une partie de carter d'écran (74) qui comporte un orifice d'admission (12) et une surface inférieure de carter (70a) disposée sur le côté opposé à l'orifice d'admission (12) et qui entoure l'écran anti-rayonnement sans entrer en contact avec l'écran anti-rayonnement, et une partie de carter d'élément de réfrigération (76) qui relie la partie de carter d'écran (74) à la partie à température ambiante (26) de l'élément de réfrigération (16). Un premier élément chauffant (84) disposé sur une surface externe de la partie de carter d'élément de réfrigération (76), ou un second élément chauffant disposé sur la surface inférieure du carter (70a), ou un élément de transfert de chaleur accouplé thermiquement au premier étage de refroidissement et disposé dans un espace entre la partie de carter d'élément de réfrigération (76) et l'élément de réfrigération (16), est disposé de façon à amener de la chaleur dans le carter de pompe cryogénique (70) depuis l'extérieur.
(JA) クライオポンプ10は、室温部と第1冷却ステージと第2冷却ステージとを備える冷凍機16と、第1冷却ステージに熱的に結合され、第2冷却ステージと非接触に前記第2冷却ステージを囲む放射シールドと、吸気口12を有し、吸気口12と反対側にハウジング底面70aを備え、放射シールドと非接触に放射シールドを囲むシールド収容部74と、シールド収容部74を冷凍機16の室温部26に接続する冷凍機収容部76と、を備えるクライオポンプハウジング70と、を備える。クライオポンプハウジング70の外から中に熱を与えるよう冷凍機収容部76の外面に配置された第1ヒータ84またはハウジング底面70aに配置された第2ヒータ、または、第1冷却ステージに熱的に結合され、冷凍機収容部76と冷凍機16との隙間に配置された伝熱部材が設けられる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)