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1. (WO2018163848) 試料回収装置、試料回収方法、及びこれらを用いた蛍光X線分析装置

Pub. No.:    WO/2018/163848    International Application No.:    PCT/JP2018/006491
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 23/223
G01N 23/2202
Applicants: RIGAKU CORPORATION
株式会社リガク
Inventors: KURITA, Seiitsu
栗田 清逸
Title: 試料回収装置、試料回収方法、及びこれらを用いた蛍光X線分析装置
Abstract:
本発明の目的は、基板に付着した汚染不純物を回収する際に、液滴の一部が基板端部から落下または裏面に回り込んだ場合に、不純物を定量した分析結果を補正または当該状況を検出できる蛍光X線分析装置を提供することにある。 本発明の蛍光X線分析装置は、表面に被測定物(汚染不純物)が存在する基板(104)に液滴(202)を滴下するとともに、前記滴下された液滴を前記基板表面上で移動させて、前記被測定物を前記液滴中に取り込む回収部(106)と、前記液滴を乾燥させ、前記被測定物を前記基板の表面上に保持させる乾燥部(114)と、前記被測定物にX線を照射し、前記被測定物から出射された蛍光X線に基づいて前記被測定物に含まれる元素を分析する分析部と、前記被測定物を回収後に前記液滴を乾燥させる前に、前記回収部から離れた前記液滴の量を検出する帯状のレーザ(204)を出射するビームセンサ(108,110)と、前記ビームセンサの検出結果から前記液滴の量または前記被測定物の定量分析値を補正する補正係数を算出する演算部と、を有する。