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1. (WO2018163845) 電荷発生素子及び微粒子数検出器

Pub. No.:    WO/2018/163845    International Application No.:    PCT/JP2018/006437
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018
IPC: H01T 19/04
G01N 15/06
G01N 27/60
H01T 23/00
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: OKUMURA, Hidemasa
奥村 英正
MIZUNO, Kazuyuki
水野 和幸
KANNO, Keiichi
菅野 京一
Title: 電荷発生素子及び微粒子数検出器
Abstract:
電荷発生素子20は、誘電体層22の表面22aに放電電極24、裏面22bに誘導電極26を有し、放電電極24と誘導電極26との間に電圧が印加されると放電により電荷が発生するものである。放電電極24は、平坦なベース面24aと、そのベース面24aから膨らんだ形状の膨出面24bとを有し、放電電極24のエッジEにおけるベース面24aと膨出面24bとのなす角度θが5°~45°である。