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1. (WO2018163704) 微粒子数検出器

Pub. No.:    WO/2018/163704    International Application No.:    PCT/JP2018/004386
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 27/68
G01N 15/06
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: KANNO, Keiichi
菅野 京一
MIZUNO, Kazuyuki
水野 和幸
OKUMURA, Hidemasa
奥村 英正
Title: 微粒子数検出器
Abstract:
微粒子数検出器10は、電荷発生素子20と、捕集装置40と、個数測定装置56と、遮蔽体60とを備える。電荷発生素子20は、放電によって発生した電荷をガス中の微粒子16に付加して帯電微粒子Pにする。捕集装置40は、印加電極42と接地電極44との間に電圧が印加されると帯電微粒子Pを捕集電極46に捕集する。個数測定装置56は、捕集電極46に捕集された帯電微粒子Pの数に応じて変化する電流に基づいて帯電微粒子Pの数を検出する。遮蔽体60は、電荷発生素子20と個数測定装置56との間に設けられている。電荷発生素子20で放電によってノイズが生じたとしても、そのノイズは遮蔽体60によって遮蔽されるため個数測定装置56に影響しにくい。