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1. (WO2018163632) 物理量測定装置およびその製造方法ならびに物理量測定素子

Pub. No.:    WO/2018/163632    International Application No.:    PCT/JP2018/002075
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Jan 25 00:59:59 CET 2018
IPC: G01L 9/00
C03C 8/18
Applicants: HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD.
日立オートモティブシステムズ株式会社
Inventors: AOYAGI Takuya
青柳 拓也
IJUIN Mizuki
伊集院 瑞紀
TERADA Daisuke
寺田 大介
ONUKI Hiroshi
小貫 洋
KOMATSU Shigenobu
小松 成亘
NAITOU Takashi
内藤 孝
MIYAKE Tatsuya
三宅 竜也
Title: 物理量測定装置およびその製造方法ならびに物理量測定素子
Abstract:
接合時の熱応力を緩和し、且つクリープやセンサ出力のドリフトを抑制できる信頼性の高い物理量測定装置を提供することを目的とする。 上記課題を解決するために、本発明に関わる物理量測定装置は、半導体素子と、前記半導体素子と複数の層を介して接続される基台と、を有する物理量測定装置において、前記複数の層の中に、少なくとも金属が主成分となる応力緩和層と、ガラスが主成分であるガラス層がそれぞれ1層以上形成されており、前記応力緩和層もしくは前記ガラス層の中のうち、少なくともどちらか一方には低融点ガラスが含まれ、前記低融点ガラスの軟化点は、前記半導体素子の耐熱温度以下であることを特徴とする。