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1. (WO2018163576) 誘導結合プラズマ質量分析装置用プラズマコーン、誘導結合プラズマ質量分析装置、誘導結合プラズマ質量分析装置用プラズマコーンの製造方法
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国際公開番号: WO/2018/163576 国際出願番号: PCT/JP2017/046971
国際公開日: 13.09.2018 国際出願日: 27.12.2017
IPC:
H01J 49/06 (2006.01) ,G01N 27/62 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
49
粒子分光器または粒子分離管
02
細部
06
電子光学的またはイオン光学的装置
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
62
ガスのイオン化の調査によるもの;放電の調査によるもの,例.陰極の放射
出願人:
信越半導体株式会社 SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区大手町二丁目2番1号 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP
発明者:
荒木 健司 ARAKI, Kenji; JP
代理人:
張川 隆司 HARIKAWA, Takashi; JP
優先権情報:
2017-04482009.03.2017JP
発明の名称: (EN) PLASMA CONE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER, INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER, AND METHOD FOR MANUFACTURING PLASMA CONE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER
(FR) CÔNE À PLASMA POUR SPECTROMÈTRE DE MASSE À PLASMA À COUPLAGE INDUCTIF, SPECTROMÈTRE DE MASSE À PLASMA À COUPLAGE INDUCTIF ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CÔNE À PLASMA POUR SPECTROMÈTRE DE MASSE À PLASMA À COUPLAGE INDUCTIF
(JA) 誘導結合プラズマ質量分析装置用プラズマコーン、誘導結合プラズマ質量分析装置、誘導結合プラズマ質量分析装置用プラズマコーンの製造方法
要約:
(EN) A sampling cone (14) and a skimmer cone (16) as a plasma cone constituting part of an interface part of an inductively coupled plasma mass spectrometer have: base materials (141), (161) formed using copper, nickel, etc.; and coating films (142), (162) formed on the surface of the base materials (141), (161). The coating films (142), (162) are formed from platinum, a platinum group metal other than platinum, gold, or an alloy of these. Also, the coating films (142), (162) are formed using an ion plating method or a plasma CVD method. There are thereby provided a plasma cone, an inductively coupled plasma mass spectrometer comprising said plasma cone, and a method for manufacturing the plasma cone thereof, with which it is possible to reduce the impurity background and also improve durability without sacrificing sensitivity (ionic strength).
(FR) Selon l'invention, un cône échantillonneur (14) et un cône écorceur (16) formant un cône à plasma constituant une partie d'une partie d'interface d'un spectromètre de masse à plasma à couplage inductif comportent : des matériaux de base (141), (161) constitués de cuivre, de nickel, etc. ; et des films de revêtement (142), (162) formés sur la surface des matériaux de base (141), (161). Les films de revêtement (142), (162) sont constitués de platine, d'un métal du groupe du platine autre que le platine, d'or ou d'un alliage de ceux-ci. En outre, les films de revêtement (142), (162) sont formés grâce à un procédé de placage ionique ou un procédé de CVD assisté par plasma. L'invention concerne ainsi un cône à plasma, un spectromètre de masse à plasma à couplage inductif comprenant ledit cône à plasma, et un procédé de fabrication du cône à plasma de celui-ci, avec lequel il est possible de réduire l'arrière-plan d'impuretés et d'améliorer également la durabilité sans sacrifier la sensibilité (force ionique).
(JA) 誘導結合プラズマ質量分析装置のインターフェース部を構成するプラズマコーンとしてのサンプリングコーン(14)及びスキマーコーン(16)は、銅、ニッケル等で形成された母材(141)、(161)と、その母材(141)、(161)の表面に形成されたコーティング膜(142)、(162)とを有する。コーティング膜(142)、(162)は、白金又は白金以外の白金族金属又は金又はそれらの合金により形成される。また、コーティング膜(142)、(162)は、イオンプレーティング法又はプラズマCVD法により形成される。これにより、感度(イオン強度)を犠牲にすることなく、不純物バックグランドを低下でき、さらに耐久性を向上できるプラズマコーン及びそれを備えた誘導結合プラズマ質量分析装置及びそのプラズマコーンの製造方法を提供する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)