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1. (WO2018163380) ドロップレット吐出装置及び計算方法
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国際公開番号: WO/2018/163380 国際出願番号: PCT/JP2017/009593
国際公開日: 13.09.2018 国際出願日: 09.03.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,B41J 2/01 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
B 処理操作;運輸
41
印刷;線画機;タイプライター;スタンプ
J
タイプライタ;選択的プリンティング機構,すなわち版以外の手段でプリンティングする機構;誤植の修正
2
設計されるプリンティングまたはマーキング方法に特徴があるタイプライタまたは選択的プリンティング機構
005
液体または粒子を選択的にプリンティング材料に接触させることに特徴があるもの
01
インクジェット
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
若菜 克彦 WAKANA Katsuhiko; JP
代理人:
森村靖男 MORIMURA Yasuo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) DROPLET DISCHARGE DEVICE AND CALCULATION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ÉVACUATION DE GOUTTELETTES ET MÉTHODE DE CALCUL
(JA) ドロップレット吐出装置及び計算方法
要約:
(EN) This droplet discharge device may be provided with: a droplet discharge unit that discharges at intervals, through an opening of a nozzle connected to a tank, a droplet of a target material stored in the tank; a speed sensor that measures the speed of the droplet discharged from the droplet discharge unit; and a calculation unit that calculates, on the basis of the cross-sectional area of the opening of the nozzle and the speed of the droplet, the volume of the target material consumed per unit time.
(FR) Ce dispositif d'évacuation de gouttelettes peut être pourvu : d'une unité d'évacuation de gouttelettes qui évacue à des intervalles réguliers, à travers une ouverture d'une buse reliée à un réservoir, une gouttelette d'un matériau cible stocké dans le réservoir ; un capteur de vitesse qui mesure la vitesse à laquelle la gouttelette est évacuée par l'unité d'évacuation de gouttelettes ; et une unité de calcul qui calcule, sur la base de la zone de section transversale de l'ouverture de la buse et de la vitesse de la gouttelette, le volume du matériau cible consommé par unité de temps.
(JA) ドロップレット吐出装置は、タンクに接続されるノズルの開口を介して、タンク内に貯留されるターゲット物質のドロップレットを、間隔をあけて吐出するドロップレット吐出部と、ドロップレット吐出部から吐出されるドロップレットの速度を計測する速度センサと、ノズルの開口の断面積と、ドロップレットの速度とに基づいて、単位時間あたりに消費されるターゲット物質の体積を計算する計算部とを備えるようにしてもよい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)