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1. (WO2018159825) 検査システムおよび検査方法
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国際公開番号: WO/2018/159825 国際出願番号: PCT/JP2018/008071
国際公開日: 07.09.2018 国際出願日: 02.03.2018
IPC:
G01N 21/88 (2006.01) ,G01B 11/30 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
30
表面の粗さまたは不規則性測定用
出願人:
リコーエレメックス株式会社 RICOH ELEMEX CORPORATION [JP/JP]; 愛知県岡崎市井田町字三丁目69番地 3-69, Aza, Ida-cho, Okazaki-shi, Aichi 4448586, JP
高知県公立大学法人 KOCHI PREFECTURAL PUBLIC UNIVERSITY CORPORATION [JP/JP]; 高知県高知市永国寺町2番22号 2-22, Eikokuji-cho, Kochi-shi, Kochi 7808515, JP
発明者:
赤澤 圭一 AKAZAWA, Keiichi; JP
井上 靖之 INOUE, Yasuyuki; JP
栗原 徹 KURIHARA, Toru; JP
代理人:
特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都千代田区霞が関3丁目8番1号 虎の門三井ビルディング Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
優先権情報:
2017-04104503.03.2017JP
発明の名称: (EN) INSPECTION SYSTEM AND INSPECTION METHOD
(FR) SYSTÈME D’INSPECTION ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査システムおよび検査方法
要約:
(EN) The inspection system according to an embodiment of the present invention is provided with: an illumination unit for sequentially switching and outputting a plurality of stripe patterns so that after a first stripe pattern has moved for a single period, a second stripe pattern seamlessly moves for a single period; a first signal output unit for outputting a first signal as a trigger for starting output of the plurality of stripe patterns to the illumination unit; a second signal output unit for outputting a second signal as a trigger for switching the plurality of stripe patterns to the illumination unit; an image data acquiring unit for acquiring time correlation image data by starting superposition of frames at a timing based on the first signal, the frames being outputted from an image sensor; an image generating unit for generating a first time correlation image corresponding to only the first stripe pattern and a second time correlation image corresponding to only the second stripe pattern on the basis of the time correlation image data; and a fault detection unit for detecting a fault in an inspection object surface on the basis of the first time correlation image and the second time correlation image.
(FR) Le système d’inspection selon un mode de réalisation de la présente invention est pourvu de : une unité d’éclairage pour commuter et délivrer séquentiellement une pluralité de motifs de bande de sorte qu’après qu’un premier motif de bande se soit déplacé pendant une période unique, un deuxième motif de bande se déplace de façon continue pendant une période unique ; une première unité de sortie de signal pour délivrer en sortie un premier signal en tant que déclencheur pour démarrer la sortie de la pluralité de motifs de bande vers l’unité d’éclairage ; une deuxième unité de sortie de signal pour délivrer en sortie un deuxième signal en tant que déclencheur pour commuter la pluralité de motifs de bande vers l’unité d’éclairage ; une unité d’acquisition de données d’image pour acquérir des données d’image de corrélation temporelle par démarrage de superposition de trames selon une temporisation basée sur le premier signal, les trames étant délivrées par un capteur d’image ; une unité de génération d’image pour générer une première image de corrélation temporelle correspondant uniquement au premier motif de bande et une deuxième image de corrélation temporelle correspondant uniquement au deuxième motif de bande sur la base des données d’image de corrélation temporelle ; et une unité de détection de défaut pour détecter un défaut dans une surface d’objet d’inspection sur la base de la première image de corrélation temporelle et de la deuxième image de corrélation temporelle.
(JA) 実施形態の検査システムは、第1縞パターンが1周期分移動した後、シームレスで、第2縞パターンが1周期分移動するように、複数の縞パターンを順次切り替えて出力する照明部と、複数の縞パターンの出力開始のトリガとなる第1信号を照明部に出力する第1信号出力部と、複数の縞パターンの切り替えのトリガとなる第2信号を照明部に出力する第2信号出力部と、イメージセンサから出力されるフレームの重畳を第1信号に基づいたタイミングで開始することで時間相関画像データを取得する画像データ取得部と、時間相関画像データに基づいて、第1縞パターンのみに対応した第1時間相関画像および第2縞パターンのみに対応した第2時間相関画像を生成する画像生成部と、第1時間相関画像および第2時間相関画像に基づいて、検査対象面における異常を検出する異常検出部と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)