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1. (WO2018159687) ウエハ加熱装置
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国際公開番号: WO/2018/159687 国際出願番号: PCT/JP2018/007532
国際公開日: 07.09.2018 国際出願日: 28.02.2018
IPC:
H05B 3/02 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H05B 3/74 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
02
細部
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
68
特に料理板あるいは類似加熱板に適した加熱装置
74
非金属板
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-city, Aichi 4678530, JP
発明者:
竹林 央史 TAKEBAYASHI, Hiroshi; JP
鳥居 謙悟 TORII, Kengo; JP
平田 夏樹 HIRATA, Natsuki; JP
代理人:
特許業務法人アイテック国際特許事務所 ITEC INTERNATIONAL PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦二丁目16番26号SC伏見ビル SC Fushimi Bldg., 16-26, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
優先権情報:
62/465,98202.03.2017US
発明の名称: (EN) WAFER HEATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE DE TRANCHE
(JA) ウエハ加熱装置
要約:
(EN) In the present invention, a ceramic heater (10) includes: a circular plate-shaped ceramic base (12), one surface thereof serving as a wafer mounting surface; and a central zone resistance heating element (20) and an outer circumferential zone resistance heating element (50) which are embedded in the circular plate-shaped ceramic base. The central zone resistance heating element (20) has wiring provided in a unicursal manner, from one end to another end of a pair of terminals (21, 22), and the pair of terminals (21, 22) are formed such that the overall shape of the pair of terminals (21, 22) is circular in a plan view.
(FR) Selon la présente invention, un élément chauffant en céramique (10) comprend : une base en céramique en forme de plaque circulaire (12) dont une surface sert de surface de montage de tranche ; un élément chauffant à résistance de zone centrale (20), ainsi qu'un élément chauffant à résistance de zone circonférentielle externe (50)qui sont incorporés dans la base en céramique en forme de plaque circulaire. L'élément chauffant à résistance de zone centrale (20) possède un câblage disposé de manière à rotation unique, d'une extrémité à l'autre d'une paire de bornes (21, 22), la forme globale de ladite paire de bornes (21,22) étant circulaire dans une vue en plan.
(JA) セラミックヒータ(10)は、片面がウエハ載置面である円板状のセラミック基体(12)に中央ゾーン抵抗発熱体(20)及び外周ゾーン抵抗発熱体(50)が埋設されている。中央ゾーン抵抗発熱体(20)は、一対の端子(21,22)の一方から他方まで一筆書きの要領で配線されており、一対の端子(21,22)は、平面視したときに一対の端子(21,22)の全体形状が円形になるように形成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)