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1. (WO2018159596) 弾性表面波デバイス用基板および疑似弾性表面波素子
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国際公開番号: WO/2018/159596 国際出願番号: PCT/JP2018/007205
国際公開日: 07.09.2018 国際出願日: 27.02.2018
IPC:
H03H 9/25 (2006.01)
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
25
弾性表面波を使用する共振器の構造上の特徴
出願人:
京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501, JP
発明者:
宇都 隆司 UTO, Takashi; JP
優先権情報:
2017-03577128.02.2017JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE FOR SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE, AND PSEUDO SURFACE ACOUSTIC WAVE ELEMENT
(FR) SUBSTRAT POUR DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE, ET ÉLÉMENT À PSEUDO-ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE
(JA) 弾性表面波デバイス用基板および疑似弾性表面波素子
要約:
(EN) The present invention is formed of a piezoelectric material and is provided with: a first surface through which a surface acoustic wave propagates; and a second surface that is positioned oppositely to the first surface. The second surface has an arithmetic average roughness (Ra) of 0.2-0.4 µm. The relationship between the arithmetic average roughness (Ra) and the average interval (S) of local peaks satisfies Ra/S≥11, or the relationship between the arithmetic average roughness (Ra) and the average interval (Sm) of recessed and projected parts satisfies Ra/Sm≥6.7. In addition, the second surface has a maximum height (Rmax) of 2.5-4.5 µm. The relationship between the maximum height (Rmax) and the average interval (S) of the local peaks satisfies Rmax/S≥130, or the relationship between the maximum height (Rmax) and the average interval (Sm) of the recessed and projected parts satisfies Rmax/Sm≥80.
(FR) Le substrat pour dispositif à ondes élastiques de surface de l’invention est constitué d’un matériau piézoélectrique, et est équipé d’une première face sur laquelle se propagent des ondes élastiques de surface, et d’une seconde face positionnée face à la première face. La seconde face satisfait à la fois une rugosité moyenne arithmétique (Ra) comprise entre 0,2μm et 0,4μm, une relation entre la rugosité moyenne arithmétique (Ra) et un intervalle moyen (S) de sommets locaux telle que Ra/S≧11, et une relation entre la rugosité moyenne arithmétique (Ra) et un intervalle moyen (Sm) de creux et reliefs telle que Ra/Sm≧6,7. En outre, la seconde face satisfait à la fois une hauteur maximale (Rmax) comprise entre 2,5μm et 4,5μm, une relation entre la hauteur maximale (Rmax) et un intervalle moyen (S) de sommets locaux telle que Rmax/S≧130, et une relation entre la hauteur maximale (Rmax) et un intervalle moyen (Sm) de creux et reliefs telle que Rmax/Sm≧80.
(JA) 圧電性材料からなり、弾性表面波が伝搬する第1面と、第1面の反対に位置する第2面とを備える。第2面は、算術平均粗さ(Ra)が0.2μm~0.4μmであるとともに、算術平均粗さ(Ra)と局部山頂の平均間隔(S)との関係がRa/S≧11、算術平均粗さ(Ra)と凹凸の平均間隔(Sm)との関係がRa/Sm≧6.7のいずれかを満たす。また、第2面は、最大高さ(Rmax)が2.5μm~4.5μmであるとともに、最大高さ(Rmax)と局部山頂の平均間隔(S)との関係がRmax/S≧130、最大高さ(Rmax)と凹凸の平均間隔(Sm)との関係がRmax/Sm≧80のいずれかを満たす。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)