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1. (WO2018159401) レーザリフトオフ装置及びレーザリフトオフ方法
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国際公開番号: WO/2018/159401 国際出願番号: PCT/JP2018/006159
国際公開日: 07.09.2018 国際出願日: 21.02.2018
IPC:
B23K 26/0622 (2014.01) ,B23K 26/00 (2014.01) ,B23K 26/53 (2014.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
[IPC code unknown for B23K 26/0622]
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
K
ハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
26
レーザービームによる加工,例.溶接,切断,穴あけ
[IPC code unknown for B23K 26/53]
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
26
波または粒子の輻射線の照射
263
高エネルギーの輻射線を有するもの
268
電磁波,例.レーザ光線,を用いるもの
出願人:
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
発明者:
柳川 良勝 YANAGAWA, Yoshikatsu; JP
藤森 裕也 FUJIMORI, Yuya; JP
上之園 隆秀 UENOSONO, Takahide; JP
代理人:
小川 護晃 OGAWA, Moriaki; JP
西山 春之 NISHIYAMA, Haruyuki; JP
奥山 尚一 OKUYAMA, Shoichi; JP
優先権情報:
2017-03906602.03.2017JP
発明の名称: (EN) LASER LIFT-OFF DEVICE AND LASER LIFT-OFF METHOD
(FR) DISPOSITIF DE DÉCOLLAGE LASER ET PROCÉDÉ DE DÉCOLLAGE LASER
(JA) レーザリフトオフ装置及びレーザリフトオフ方法
要約:
(EN) The present invention is provided with: a laser emission part 2 that shifts, by pulse control, oscillation timings of a plurality of laser beams having different energy ratios, and emits, from different optical paths, a first laser beam having a high energy and then a second laser beam having a low energy; an optical system 3 that guides the first laser beam and the second laser beam to the same optical path, synthesizes a laser beam having a pulse waveform and having a plurality of peaks on the basis of a time difference between oscillation timings, and changes the synthesized laser beam into a line beam and leads the line beam to an irradiation area in a laminated body; a transport mechanism 4 that moves the laminated body in a horizontal surface; and a control unit 5 that controls the laser emission part and the transport mechanism in an integrated manner so that the laminated body is sequentially moved and the irradiation area of the laminated body is irradiated with the line beam at a predetermined timing. Accordingly, attachment of contaminants to a layer to be exfoliated is suppressed, and the layer to be exfoliated can be exfoliated.
(FR) La présente invention comprend : une partie d'émission laser (2) qui décale, par commande d'impulsion, des synchronisations d'oscillation d'une pluralité de faisceaux laser possédant des rapports d'énergie différents, et qui émet, à partir de différents trajets optiques, un premier faisceau laser possédant une énergie élevée, puis un second faisceau laser possédant une énergie faible ; un système optique (3) qui guide le premier faisceau laser et le second faisceau laser vers le même trajet optique, qui synthétise un faisceau laser possédant une forme d'onde d'impulsion et possédant une pluralité de pics sur la base d'une différence de temps entre les synchronisations d'oscillation, et qui change le faisceau laser synthétisé en un faisceau de ligne et conduit le faisceau de ligne vers une zone d'irradiation dans un corps stratifié ; un mécanisme de transport (4) qui déplace le corps stratifié dans une surface horizontale ; et une unité de commande (5) qui commande la partie d'émission laser et le mécanisme de transport d'une manière intégrée de sorte que le corps stratifié soit déplacé séquentiellement et que la zone d'irradiation du corps stratifié soit irradiée avec le faisceau de ligne à une synchronisation prédéterminée. Par conséquent, la fixation de contaminants sur une couche à exfolier est supprimée, et la couche à exfolier peut être exfoliée.
(JA) 本発明は、パルス制御によりエネルギー比の異なる複数のレーザ光の発振タイミングをずらすことで、エネルギーの大きい第1のレーザ光に続いてエネルギーの小さい第2のレーザ光を、異なる光路から射出するレーザ射出部2と、第1のレーザ光と第2のレーザ光とを同一光路に案内し、発振タイミングの時間差に基づいて、複数のピークを有するパルス波形のレーザ光に合成し、合成したレーザ光をラインビームにして積層体の照射領域に導く光学系3と、積層体を水平面内で移動させる搬送機構4と、積層体を順次移動させて、予め定めたタイミングでラインビームを積層体の照射領域に照射するために、レーザ射出部と搬送機構とを統合して制御する制御部5と、を備える。これにより、被剥離層に汚染物質が付着するのを抑制して剥離し得る。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)