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1. (WO2018159241) データ生成方法、データ生成装置及びデータ生成プログラム

Pub. No.:    WO/2018/159241    International Application No.:    PCT/JP2018/004180
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 08 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/66
G06T 7/00
Applicants: FUJITSU LIMITED
富士通株式会社
Inventors: UMEDA, Yuhei
梅田 裕平
ISHIDA, Tsutomu
石田 勉
Title: データ生成方法、データ生成装置及びデータ生成プログラム
Abstract:
【課題】ウエハ上の欠陥チップの位置情報を、分類に適した特徴情報に変換する。 【解決手段】本データ生成方法は、複数のウエハそれぞれについて、当該ウエハの欠陥位置の情報を用いて、当該ウエハ上の欠陥ごとに、当該ウエハ上の位置、および、当該ウエハの中心からの距離と寄与パラメータとから算出される値を含む拡張座標を生成し、複数のウエハそれぞれについて、生成された複数の拡張座標に対するパーシステントホモロジ処理によりベッチ数系列を生成し、複数のウエハそれぞれについて、寄与パラメータの複数の値に対し生成した複数のベッチ数系列から、欠陥パターン画像を生成し、複数のウエハについて生成された複数の欠陥パターン画像と、複数のウエハに対応付けられた判別情報とを対応付けた機械学習データを生成する処理を含む。