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1. (WO2018159190) 検査システム、および検査システムの故障解析・予知方法

Pub. No.:    WO/2018/159190    International Application No.:    PCT/JP2018/002934
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 31 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/66
G01R 31/28
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: KAGAMI Tetsuya
加賀美 徹也
Title: 検査システム、および検査システムの故障解析・予知方法
Abstract:
検査装置(100)は、複数のデバイスが形成された基板Wを保持するステージ(26)と、基板(W)をステージ(26)に搬送する搬送部(22)と、複数のプローブ25aを基板(W)上の複数のデバイスの電極に接触させるプローブカード(25)とを有するプローバ(200)と、プローブカード(25)を介して基板(W)上の複数のデバイスに電気的信号を与え、デバイスの電気特性を検査するテスタ(300)と、検査の際に故障が発生したとき、または故障の前段階の兆候が発生したときに、その故障に関連するプローバ(200)とテスタ(300)の履歴情報を解析して故障の箇所を把握または予知する故障解析・予知処理部(400)とを有する。