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1. (WO2018159085) 基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法
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国際公開番号: WO/2018/159085 国際出願番号: PCT/JP2017/046520
国際公開日: 07.09.2018 国際出願日: 26.12.2017
IPC:
H01L 21/02 (2006.01) ,G05B 19/418 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
G 物理学
05
制御;調整
B
制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
19
プログラム制御系
02
電気式
418
総合的工場管理,すなわち,複数の機械の集中管理,例.直接または分散数値制御(DNC),フレキシブルマニュファクチャリングシステム(FMS),インテグレーテッドマニュファクチャリングシステム(IMS),コンピュータインテグレーテッドマニュファクチャリング(CIM)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者:
柴田 英樹 SHIBATA Hideki; JP
木村 隆一 KIMURA Ryuichi; JP
代理人:
吉竹 英俊 YOSHITAKE Hidetoshi; JP
有田 貴弘 ARITA Takahiro; JP
優先権情報:
2017-03923102.03.2017JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法
要約:
(EN) The present invention has the purpose of preparing a schedule of an unarrived lot so that the schedule does not butt into a schedule of another lot to be prepared thereafter. In order to achieve the purpose, a scheduling unit prepares, as a temporary schedule, a schedule of an unarrived lot on the basis of a schedule of an arrived lot and a recipe of the unarrived lot, and transmits the temporary schedule to a host computer. The host computer determines whether to convey the unarrived lot to a substrate processing device on the basis of the temporary schedule, and upon determining to convey the unarrived lot to the substrate processing device, provides, to the scheduling unit, a signal indicating conveyance of the unarrived lot to the substrate processing device. Upon receiving the signal, the scheduling unit executes a reservation process for reserving, in the scheduling unit, the temporary schedule of the unarrived lot as an exclusive schedule from a schedule of another lot, before the unarrived lot arrives at the substrate processing device.
(FR) La présente invention a pour objet de préparer un planning d'un lot non arrivé de sorte que le planning ne bute pas dans un planning d'un autre lot à préparer par la suite. L'objet de l'invention est réalisé par une unité de planification qui prépare, sous la forme d'un planning temporaire, un planning d'un lot non arrivé en se basant sur un planning d'un lot arrivé et une recette du lot non arrivé, et transmet le planning temporaire à un ordinateur hôte. L'ordinateur hôte détermine s'il faut transporter ou non le lot non arrivé vers un dispositif de traitement de substrat sur la base du planning temporaire et, s'il détermine que le lot non arrivé doit être transporté vers le dispositif de traitement de substrat, fournit à l'unité de planification un signal indiquant le transport du lot non arrivé vers le dispositif de traitement de substrat. Lors de la réception du signal, l'unité de planification exécute un processus de réservation afin de réserver, dans l'unité de planification, le planning temporaire du lot non arrivé en tant que planning exclusif d'un planning d'un autre lot, avant que le lot non arrivé arrive au niveau du dispositif de traitement de substrat.
(JA) 本発明は、未着ロットのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成することを目的とする。該目的を達成するためにスケジューリング部は、到着済みのロットのスケジュールと、未着ロットのレシピとに基づいて未着ロットのスケジュールを仮スケジュールとして作成してホストコンピュータに送信し、ホストコンピュータは当該仮スケジュールに基づいて未着ロットを基板処理装置に搬送するか否かを判断し、未着ロットを基板処理装置に搬送すると決定した場合には未着ロットを基板処理装置に搬送すること示す信号をスケジューリング部に与え、スケジューリング部は当該信号を受けると、未着ロットが基板処理装置に到着する前に、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において予約する予約処理を実行する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)