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1. (WO2018155555) 基材表面の選択的修飾方法

Pub. No.:    WO/2018/155555    International Application No.:    PCT/JP2018/006463
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 23 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/312
Applicants: JSR CORPORATION
JSR株式会社
Inventors: OSAKI Hitoshi
大▲崎▼ 仁視
KOMATSU Hiroyuki
小松 裕之
Title: 基材表面の選択的修飾方法
Abstract:
本発明は、表層を有し、その表層の第1領域にケイ素の酸化物又は窒化物を含む基材を準備する工程と、上記基材の表面の少なくとも一部に酸化処理及び親水化処理から選ばれる少なくとも1種の表面処理を施す工程と、上記表面処理工程後の上記基材の表面に非感光性組成物を塗工する工程とを備え、上記非感光性組成物が、窒素原子を含む第1重合体と、溶媒とを含有する基材表面の選択的修飾方法である。上記基材の表層は、上記第1領域以外の領域であって、金属を含む第2領域をさらに有するとよい。上記表面処理工程において、O2プラズマ処理を行うことが好ましい。