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1. (WO2018155452) マスク及び成膜装置
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国際公開番号: WO/2018/155452 国際出願番号: PCT/JP2018/006064
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 20.02.2018
IPC:
B05B 12/16 (2018.01) ,B05B 7/24 (2006.01)
[IPC code unknown for B05B 12/16]
B 処理操作;運輸
05
霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
B
霧化装置;噴霧装置;ノズル
7
2つまたはそれ以上の源から液体または他の流動性材料を放出する噴霧装置,例.源が液体と空気からなるもの,粉体と気体からなるもの2つまたはそれ以上の源から液体または他の流動性材料を放出する噴霧装置,例.源が液体と空気からなるもの,粉体と気体からなるもの(B05B3/00,B05B5/00が優先
24
放出装置に液体または他の流動性材料を供給するための手段,例.容器,を有するもの
出願人:
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ケ崎市萩園2500 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
発明者:
清 健介 SEI Kensuke; JP
青代 信 AODAI Makoto; JP
高橋 明久 TAKAHASHI Hirohisa; JP
矢島 貴浩 YAJIMA Takahiro; JP
加藤 裕子 KATO Yuko; JP
代理人:
及川 周 OIKAWA Shu; JP
勝俣 智夫 KATSUMATA Tomoo; JP
土屋 亮 TSUCHIYA Ryo; JP
優先権情報:
2017-03031721.02.2017JP
発明の名称: (EN) MASK AND FILM-FORMING DEVICE
(FR) MASQUE ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM
(JA) マスク及び成膜装置
要約:
(EN) This mask is used for supplying a resin material to a substrate via an opening provided in a mask body, and forming a liquid resin material film upon the substrate. In a side surface constituting the opening in the mask body, at least a site located in the vicinity of the substrate is constituted by a material having a greater contact angle for the liquid organic material than the material of the mask body.
(FR) Le masque d'après la présente invention sert à délivrer un matériau en résine sur un substrat par l'intermédiaire d'une ouverture ménagée dans un corps de masque et à former un film du matériau en résine liquide sur le substrat. Dans une surface latérale constituant l'ouverture dans le corps de masque, au moins un emplacement situé à proximité du substrat est constitué d'un matériau ayant un angle de contact plus grand pour le matériau organique liquide que le matériau du corps de masque.
(JA) 本発明のマスクは、マスク本体に設けた開口部を通して基板に樹脂材料を供給し該基板上に液状の樹脂材料膜を形成するために用いられる。前記マスク本体の前記開口部を構成する側面において、少なくとも前記基板の近傍に位置する部位が、前記マスク本体の材質に比べて、前記液状の有機材料の接触角が大きい材質により構成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)