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1. (WO2018155419) 気化器および素子構造体の製造装置

Pub. No.:    WO/2018/155419    International Application No.:    PCT/JP2018/005934
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 21 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/24
H01L 51/50
H05B 33/04
H05B 33/10
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: AODAI Makoto
青代 信
SEI Kensuke
清 健介
TAKAHASHI Hirohisa
高橋 明久
YAJIMA Takahiro
矢島 貴浩
KATO Yuko
加藤 裕子
Title: 気化器および素子構造体の製造装置
Abstract:
本発明の気化器は、素子構造体の製造装置に対して気化された樹脂材料を供給するための気化器であって、液状の樹脂材料を気化するための内部空間を備えた気化槽と、前記内部空間において、前記液状の樹脂材料を噴霧する吐出部と、前記内部空間において、前記吐出部に対向して配され、噴霧された前記液状の樹脂材料を加熱気化させる加温部と、前記内部空間において、前記加温部より下方に配され、該加温部で気化されなかった前記液状の樹脂材料が滴下されて保管される貯留部とを備えている。