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1. (WO2018155385) 硬質炭素膜とその製造方法および摺動部材

Pub. No.:    WO/2018/155385    International Application No.:    PCT/JP2018/005765
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Feb 20 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/06
C01B 32/05
C23C 14/24
C23C 14/32
C23C 16/27
B23B 27/14
B23B 27/20
Applicants: NIPPON ITF, INC.
日本アイ・ティ・エフ株式会社
Inventors: OOSHIRO Takehiko
大城 竹彦
FUKUTANI Yukako
福谷 友佳子
MIYAKE Koji
三宅 浩二
Title: 硬質炭素膜とその製造方法および摺動部材
Abstract:
MoDTC含有潤滑油中で使用される摺動部材において、耐摩耗性や耐焼き付き性を維持しながら、アブレーシブ摩耗の発生を効果的に抑制すると共に、大幅に摩擦係数が低下された硬質炭素膜を、生産性を低下させることなくコストアップを招くことなく製造する硬質炭素膜の製造技術を提供する。 第1の硬質炭素膜の上に第2の硬質炭素膜が積層されて構成されており、第2の硬質炭素膜は第1の硬質炭素膜に比べて低硬度であり、第1の硬質炭素膜には第2の硬質炭素膜へ向けて突出するように隆起状形態物が複数形成されている硬質炭素膜。アークイオンプレーティング法を用いて表面に複数の隆起状形態物を成長させながら第1の硬質炭素膜を形成する工程と、CVD法またはスパッタリング法を用いて第1の硬質炭素膜よりも低硬度の第2の硬質炭素膜を形成する工程とを含む硬質炭素膜の製造方法。