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1. (WO2018155374) 複合焼結体、静電チャック部材、および静電チャック装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/155374 国際出願番号: PCT/JP2018/005719
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 19.02.2018
IPC:
C04B 35/117 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01
酸化物を基とするもの
10
酸化アルミニウムを基とするもの
111
ファインセラミックス
117
複合組成物
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.[JP/JP]; 6-28, Rokuban-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1028465, JP
発明者: HIDAKA Nobuhiro; JP
KUGIMOTO Hironori; JP
代理人: NISHIZAWA Kazuyoshi; JP
SATO Akio; JP
HAGIWARA Ayaka; JP
優先権情報:
2017-03262223.02.2017JP
2017-03262323.02.2017JP
発明の名称: (EN) COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
(FR) CORPS FRITTÉ COMPOSITE, ÉLÉMENT DE PORTE-SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE ET DISPOSITIF DE PORTE-SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 複合焼結体、静電チャック部材、および静電チャック装置
要約:
(EN) This composite sintered body is a ceramic composite sintered body including aluminum oxide, which is a main phase, and silicon carbide, which is a subphase, said composite sintered body having an interface layer in which a material other than aluminum oxide and silicon carbide constitutes a forming material at an interface of aluminum oxide crystalline particles and silicon carbide crystalline particles at a grain boundary.
(FR) L'invention concerne un corps fritté composite qui est un corps fritté composite en céramique comprenant de l'oxyde d'aluminium, qui est une phase principale, et du carbure de silicium, qui est une sous-phase, ledit corps fritté composite ayant une couche d'interface dans laquelle un matériau autre que l'oxyde d'aluminium et le carbure de silicium constitue un matériau de formation au niveau d'une interface de particules cristallines d'oxyde d'aluminium et de particules cristallines de carbure de silicium au niveau d'un joint de grains.
(JA) この複合焼結体は、主相である酸化アルミニウムと、副相である炭化ケイ素と、を含むセラミックスの複合焼結体であり、粒界における酸化アルミニウムの結晶粒と、炭化ケイ素の結晶粒との界面に、酸化アルミニウムおよび炭化ケイ素以外の材料を形成材料とする界面層を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)