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1. (WO2018155337) 電極用リング

Pub. No.:    WO/2018/155337    International Application No.:    PCT/JP2018/005499
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 17 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/3065
H05H 1/46
Applicants: THINKON NEW TECHNOLOGY JAPAN CORPORATION
日本新工芯技株式会社
Inventors: IKARI Atsushi
碇 敦
FUJII Satoshi
藤井 智
Title: 電極用リング
Abstract:
複数のシリコン部材を接合した電極用リングを提供する。基板にプラズマ処理をする基板処理装置の前記基板が収容される処理室内に設置する電極用リングであって、一方向に突き合わせた複数の第1シリコン部材34と、突き合わされた前記複数の第1シリコン部材34同士を跨ぐ位置に埋め込まれた埋込みシリコン部材64Aとを備え、前記複数の第1シリコン部材34と、前記埋込みシリコン部材64の間に、前記複数の第1シリコン部材34と前記埋込みシリコン部材64Aを接合する接合部68が設けられたことを特徴とする。