このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018155312) 基板収納処理装置、基板収納処理方法、及び記録媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/155312 国際出願番号: PCT/JP2018/005346
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 15.02.2018
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B65G 49/00 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
松本 昭博 MATSUMOTO Akihiro; JP
松下 道明 MATSUSHITA Michiaki; JP
村田 晃 MURATA Akira; JP
田代 稔 TASHIRO Minoru; JP
代理人:
永井 浩之 NAGAI Hiroshi; JP
中村 行孝 NAKAMURA Yukitaka; JP
佐藤 泰和 SATO Yasukazu; JP
朝倉 悟 ASAKURA Satoru; JP
森 秀行 MORI Hideyuki; JP
村越 卓 MURAKOSHI Suguru; JP
優先権情報:
2017-03147622.02.2017JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORAGE PROCESSING DEVICE, SUBSTRATE STORAGE PROCESSING METHOD, AND RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) 基板収納処理装置、基板収納処理方法、及び記録媒体
要約:
(EN) Provided are a substrate storage processing device, a substrate storage processing method, and a recording medium for making it possible to confirm whether a lid is appropriately attached in a cassette for storing a substrate. The substrate storage processing device is provided with: a stage for placing a cassette having a lid detachably mounted with respect to an opening portion; a lid attach/detach mechanism for attaching or detaching the lid with respect to the opening portion of the cassette placed on the stage, the lid attach/detach mechanism being movable to an attaching position for contacting the lid disposed at the position of the opening portion, and a withdrawn position for not contacting the lid disposed at the position of the opening portion; a lid holding sensor unit for sensing whether the lid is being held by the lid attach/detach mechanism; and a control unit for determining the presence or absence of anomaly regarding the attachment or detachment of the lid on the basis of the result of sensing by the lid holding sensor unit.
(FR) L'invention concerne un dispositif de traitement de stockage de substrat, un procédé de traitement de stockage de substrat et un support d'enregistrement pouvant confirmer si un couvercle est fixé de manière appropriée dans une cassette permettant de stocker un substrat. Le dispositif de traitement de stockage de substrat comprend : un étage permettant de placer une cassette ayant un couvercle monté amovible par rapport à une partie ouverture; un mécanisme de fixation/séparation de couvercle permettant de fixer ou de retirer le couvercle par rapport à la partie ouverture de la cassette placée sur l'étage, le mécanisme de fixation/séparation de couvercle étant mobile vers une position de fixation permettant de venir en contact avec le couvercle disposé au niveau de la position de la partie ouverture et vers une position retirée permettant de ne pas venir en contact avec le couvercle disposé au niveau de la position de la partie ouverture; un ensemble capteur de maintien de couvercle permettant de détecter si le couvercle est maintenu par le mécanisme de fixation/séparation de couvercle; et une unité de commande permettant de déterminer la présence ou l'absence d'une anomalie au niveau de la fixation ou de la séparation du couvercle sur la base du résultat de la détection effectuée par l'ensemble capteur de maintien de couvercle.
(JA) 基板を収納するためのカセットにおいて蓋が適切に装着されたか否かを確認することができる基板収納処理装置、基板収納処理方法、及び記録媒体を提供する。基板収納処理装置は、開口部に対して着脱可能に装着される蓋を有するカセットが配置される載置部と、載置部に配置されたカセットの開口部に対する蓋の着脱を行い、開口部の位置に配置された蓋に接触する装着位置と、開口部の位置に配置された蓋に接触しない退避位置とに移動可能に設けられる蓋着脱機構と、蓋着脱機構によって蓋が保持されているか否かを検知するための蓋保持センサ部と、蓋保持センサ部の検知結果に基づいて、蓋の着脱に関する異常の有無を判定する制御部と、を備える。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)