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1. (WO2018155297) 固体撮像装置

Pub. No.:    WO/2018/155297    International Application No.:    PCT/JP2018/005215
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 27/146
H04N 5/369
H04N 5/374
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
TOWERJAZZ PANASONIC SEMICONDUCTOR CO., LTD.
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
Inventors: AMIKAWA, Hiroyuki
網川 裕之
OGITA, Shinichi
荻田 進一
IKUMA, Makoto
生熊 誠
KATSUNO, Motonari
勝野 元成
NAKATA, Kenichi
仲田 憲一
NAKAMURA, Tetsuya
中村 哲也
MIYAGAWA, Ryohei
宮川 良平
OTSUKI, Hirohisa
大槻 浩久
HIRATA, Tatsuya
平田 達也
Title: 固体撮像装置
Abstract:
複数の画素セル(101)を有する固体撮像装置(100)であって、複数の画素セル(101)のそれぞれは、第1の光電変換部(120)と、第1のフローティングディフュージョン部(128)と、第1の転送トランジスタ(121)と、第1の光電変換部(120)よりも受光面積が小さい第2の光電変換部(122)と、第2の光電変換部(122)によって光電変換された信号電荷を蓄積する電荷蓄積部(124)と、第2のフローティングディフュージョン部(129)と、電荷蓄積部(124)に蓄積された信号電荷を第2のフローティングディフュージョン部(129)に転送する第2の転送トランジスタ(123)とを備え、電荷蓄積部(124)は、半導体基板(140)上の絶縁膜(141)と、絶縁膜(141)上に形成した電極部(124a)とを有する。