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1. (WO2018155214) 重合体およびポジ型レジスト溶液

Pub. No.:    WO/2018/155214    International Application No.:    PCT/JP2018/004460
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018
IPC: C08F 212/06
C08F 220/14
G03F 7/039
G03F 7/20
Applicants: ZEON CORPORATION
日本ゼオン株式会社
Inventors: KAMATA Kohei
蒲田 耕平
TSUTSUMI Takashi
堤 隆志
Title: 重合体およびポジ型レジスト溶液
Abstract:
パターン欠陥の発生を抑制し得るポジ型レジストとして良好に使用し得る重合体、および、該重合体を含むポジ型レジスト溶液を提供する。本発明のポジ型レジスト溶液は、α-メチルスチレン単位と、α-クロロアクリル酸メチル単位とを含有し、Gxが0.05以下である、重合体。また、当該重合体と、溶剤とを含む。