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1. (WO2018155005) 電気特性の検査冶具
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国際公開番号: WO/2018/155005 国際出願番号: PCT/JP2018/001030
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 16.01.2018
予備審査請求日: 10.12.2018
IPC:
G01R 1/073 (2006.01) ,G01R 31/26 (2014.01) ,H01L 21/66 (2006.01) ,H01R 12/51 (2011.01) ,H01R 33/76 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
26
個々の半導体装置の試験
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
H 電気
01
基本的電気素子
R
導電接続;互いに絶縁された多数の電気接続要素の構造的な集合体;嵌合装置;集電装置
12
印刷回路(例,印刷回路基板(PCB),フラットケーブルもしくはリボンケーブル)または通常は平面構造になっている類似のもの(例,端子片,端子ブロック)に特に適した,複数の相互絶縁された電気接続部材の構造的な集合体;印刷回路,フラットケーブルもしくはリボンケーブル,または通常は平面構造になっている類似のものに特に適した嵌合装置;印刷回路,フラットケーブルもしくはリボンケーブル,または通常は平面構造になっている類似のものとの接触,またはそれらへの挿入に特に適した端子
50
固定接続
51
剛性の印刷回路または類似の構造物のためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
R
導電接続;互いに絶縁された多数の電気接続要素の構造的な集合体;嵌合装置;集電装置
33
装置を保持する役目と,その装置と構造的に組合わされている相手方部品を通じて電気的接続をする役目を果たしている,ホルダ部分を持つ,特にその装置を支持するために適合した嵌合装置,例.ランプ・ホルダ;その個々の部品(特殊な装置と相手方部品との構造的な関連は,その装置についての関連サブクラスを参照)
74
4個以上の極をもつ装置
76
ソケット,クリップまたは同様な接触子をもち,この接触子が相手方部品上の並行配置のピン,刃または同様な接触子との軸方向の摺動係合に適合するホルダ,例.電子管ソケット
出願人:
デクセリアルズ株式会社 DEXERIALS CORPORATION [JP/JP]; 東京都品川区大崎1丁目11番2号 ゲートシティ大崎イーストタワー8階 Gate City Osaki, East Tower 8F, 1-11-2, Osaki, Shinagawa-ku, Tokyo 1410032, JP
発明者:
石松 朋之 ISHIMATSU, Tomoyuki; JP
熊倉 博之 KUMAKURA, Hiroyuki; JP
青木 正治 AOKI, Masaharu; JP
久保田 貴子 KUBOTA, Takako; JP
代理人:
野口 信博 NOGUCHI, Nobuhiro; JP
優先権情報:
2017-03445927.02.2017JP
発明の名称: (EN) ELECTRICAL CHARACTERISTIC INSPECTION TOOL
(FR) OUTIL D'INSPECTION DE CARACTÉRISTIQUE ÉLECTRIQUE
(JA) 電気特性の検査冶具
要約:
(EN) Provided is an electrical characteristic inspection tool that is capable of electrical characteristic inspection even if an oxide film has been formed on pads or bumps formed at a fine pitch. This electrical characteristic inspection tool is provided with a flexible sheet (11), through electrodes (12) having recess parts (12a) at one surface (11a) of the flexible sheet (11), and a conductive elastomer (13) disposed in the recess parts (12a) of the through electrodes (12). When the pads or bumps are made to touch the conductive elastomer and probes are made to touch the through electrodes (12), then even if an oxide film has been formed on the pads or bumps to be inspected, since conductive elastomer particles of the conductive elastomer (13) break through the oxide film, electrical characteristic inspection is made possible.
(FR) L'invention concerne un outil d'inspection de caractéristique électrique qui est capable de réaliser une inspection de caractéristique électrique même si un film d'oxyde a été formé sur des pastilles ou des bosses formées à un pas fin. Ledit outil d'inspection de caractéristique électrique est pourvu d'une feuille souple (11), d'électrodes traversantes (12) ayant des parties d'évidement (12a) sur une surface (11a) de la feuille souple (11), et d'un élastomère conducteur (13) situé dans les parties d'évidement (12a) des électrodes traversantes (12). Lorsque les pastilles ou les bosses sont amenées à toucher l'élastomère conducteur et que des sondes sont amenées à toucher les électrodes traversantes (12), même si un film d'oxyde a été formé sur les pastilles ou les bosses à inspecter, étant donné que les particules de l'élastomère conducteur (13) franchissent le film d'oxyde, une inspection de caractéristique électrique est alors rendue possible.
(JA) ファインピッチに形成されたパッドやバンプに酸化膜が形成されている場合でも、電気特性を検査することができる電気特性の検査冶具を提供する。電気特性の検査冶具は、フレキシブルシート(11)と、フレキシブルシート(11)の一方の面(11a)に凹部(12a)を有する貫通電極(12)と、貫通電極(12)の凹部(12a)に配置された導電性エラストマー(13)とを備える。導電性エラストマーにパッドやバンプを接触させ、貫通電極(12)にプローブを接触させることにより、検査対象物のパッドやバンプに酸化膜が形成されている場合でも導電性エラストマー(13)中の導電性粒子が酸化膜を突き破るため、電気特性を検査することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)