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1. (WO2018154941) テストシステム
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国際公開番号: WO/2018/154941 国際出願番号: PCT/JP2017/045546
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 19.12.2017
IPC:
G01R 31/26 (2014.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
26
個々の半導体装置の試験
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人:
新東工業株式会社 SINTOKOGIO, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市中村区名駅三丁目28番12号 28-12, Meieki 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4506424, JP
発明者:
浜田 貴之 HAMADA Takayuki; JP
坂本 陽一 SAKAMOTO Yoichi; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
大森 鉄平 OMORI Teppei; JP
優先権情報:
2017-03118022.02.2017JP
発明の名称: (EN) TEST SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TEST
(JA) テストシステム
要約:
(EN) This test system tests the electrical characteristics of a device to be tested, wherein the test system comprises: a mount on which the device to be tested is mounted; a transport mechanism for transporting the mount; a test head that includes a measurement circuit for testing electrical characteristics; a probe for connecting an electrode of the device to be tested to the measurement circuit; a raising and lowering mechanism that moves the mount along a first direction, thereby bringing the electrode and the probe into and out of contact with each other; and an alignment mechanism provided to the test head, the alignment mechanism moving the probe on a plane orthogonal to the first direction, thereby positioning the probe and the electrode on said plane.
(FR) L'invention concerne un système de test testant les caractéristiques électriques d'un dispositif à tester, le système de test comprenant : un support sur lequel est monté le dispositif à tester ; un mécanisme de transport destiné à transporter le support ; une tête de test comprenant un circuit de mesure permettant de tester des caractéristiques électriques ; une sonde servant à connecter une électrode du dispositif à tester au circuit de mesure ; un mécanisme d'élévation et d'abaissement qui déplace le support le long d'une première direction, amenant ainsi l'électrode et la sonde à venir en contact l'une avec l'autre et hors de contact l'une de l'autre ; et un mécanisme d'alignement disposé sur la tête de test, le mécanisme d'alignement déplaçant la sonde sur un plan orthogonal à la première direction, positionnant ainsi la sonde et l'électrode sur ledit plan.
(JA) テストシステムは、被試験デバイスの電気特性試験を実施するテストシステムであって、被試験デバイスが載置される載置台と、載置台を搬送する搬送機構と、電気特性試験を行うための測定回路を含むテストヘッドと、被試験デバイスの電極を測定回路に接続するためのプローブと、載置台を第1方向に沿って移動させることにより、電極とプローブとを接触又は離間させる昇降機構と、テストヘッドに設けられ、第1方向と交差する平面上でプローブを移動することにより、平面におけるプローブと電極との位置合わせを行うアライメント機構と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)