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1. (WO2018154915) 不透視膜付き部材

Pub. No.:    WO/2018/154915    International Application No.:    PCT/JP2017/044087
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017
IPC: B32B 9/00
B32B 7/02
B32B 17/06
C03C 17/23
Applicants: AGC INC.
AGC株式会社
Inventors: KUWAHARA, Yuichi
▲桑▼原 雄一
MORI, Kazutomo
森 一倫
WATANABE, Soshi
渡邊 創史
Title: 不透視膜付き部材
Abstract:
透明基材と、該透明基材上に設置された不透視膜とを備える不透視膜付き部材において、前記不透視膜は、(101μm~111μm)×(135μm~148μm)の領域をレーザ顕微鏡で測定して得られる表面形状において、第1の高さレベルH1での断面における直径が10μm超である第1の凸部と、前記表面形状の第2の高さレベルH2での断面における直径が1μm以上10μm以下である第2の凸部とを含み、前記領域内で最も低い部分の高さを基準とした前記第1の凸部の最大高さは8μm~30μmであり、前記第2の高さレベルH2を基準とした前記第2の凸部の平均高さは0.1μm~3μmであり、前記第2の凸部の数は1μm2あたり0.001個~0.05個であり、前記第2の凸部は前記領域の面積の1%~3%を占め、前記不透視膜において、Zr/Si比(原子比)は、0.003~0.04の範囲である。