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1. (WO2018154800) 計測装置及び観測条件の設定方法

Pub. No.:    WO/2018/154800    International Application No.:    PCT/JP2017/017993
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat May 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/22
H01J 37/28
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: ARAKI, Ryoko
荒木 亮子
TSUNO, Natsuki
津野 夏規
NAKAMURA, Yohei
中村 洋平
SASAJIMA, Masahiro
笹島 正弘
NAKAMURA, Mitsuhiro
中村 光宏
AGEMURA, Toshihide
揚村 寿英
Title: 計測装置及び観測条件の設定方法
Abstract:
荷電粒子線を照射して試料を観察する計測装置であって、荷電粒子線を出力する粒子源と、荷電粒子線を集束するレンズと、荷電粒子線を照射した試料から放出される放出電子の信号を検出する検出器と、観測条件に基づいて荷電粒子線の出力及び放出電子の信号の検出を制御する制御装置とを備え、制御装置は、観測条件として、荷電粒子線の照射周期を制御する第1のパラメータ、パルス状の荷電粒子線のパルス幅を制御する第2のパラメータ、パルス状の荷電粒子線の照射時間内において放出電子の信号の検出タイミングを制御する第3のパラメータを設定し、第3のパラメータは、荷電粒子線の照射位置から放出される複数の放出電子の信号の各々の強度の差に基づいて決定されることを特徴とする。