このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018154779) 基板収納容器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/154779 国際出願番号: PCT/JP2017/007473
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 27.02.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
出願人:
ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区東池袋1丁目24番1号 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
発明者:
甲斐 聴子 KAI, Satoko; JP
代理人:
正林 真之 SHOBAYASHI, Masayuki; JP
林 一好 HAYASHI, Kazuyoshi; JP
岩池 満 IWAIKE, Mitsuru; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE HOUSING CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE LOGEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約:
(EN) According to the present invention, a back-side substrate support part 6 of a substrate housing container 1 has: a lower inclined surface 622 that extends obliquely away from the center of a substrate housing space 27 and is a surface along which an end part of an undersurface of a substrate W slides; and a substrate support part 632 that is positioned above the lower inclined surface 622 and can support an edge part of the substrate W. When a container main body opening part 21 is being closed by a lid body 3, the edge part of the substrate W slides along the lower inclined surface 622 to the substrate support part 632. At least one part of the lower inclined surface 622 is configured from a second member that is separate from a first member that constitutes the substrate support part 632. The second member has lower abrasion resistance and a lower maximum coefficient of static friction than the first member.
(FR) Selon la présente invention, une partie de support de substrat côté arrière 6 d'un récipient de logement de substrat 1 comporte: une surface inclinée inférieure 622 qui s'étend obliquement à l'opposé du centre d'un espace de logement de substrat 27 et qui est une surface le long de laquelle une partie d'extrémité d'une surface inférieure d'un substrat W coulisse; et une partie de support de substrat 632 qui est positionnée au-dessus de la surface inclinée inférieure 622 et qui peut supporter une partie de bord du substrat W. Lorsqu'une partie d'ouverture de corps principal de récipient 21 est fermée par un corps de couvercle 3, la partie de bord du substrat W coulisse le long de la surface inclinée inférieure 622 jusqu'à la partie de support de substrat 632. Au moins une partie de la surface inclinée inférieure 622 est configurée à partir d'un second élément qui est séparé d'un premier élément qui constitue la partie de support de substrat 632. Le second élément a une résistance à l'abrasion inférieure et un coefficient de frottement statique inférieur au premier élément.
(JA) 基板収納容器1の奥側基板支持部6は、基板収納空間27の中心から離間するように傾斜して延び、基板Wの裏面の端部が摺動する下側傾斜面622と、下側傾斜面622よりも上側に位置し、基板Wの縁部を支持可能な基板支持部632と、を有する。蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに、基板Wの縁部は、下側傾斜面622に対して摺動して基板支持部632へ至るまで移動する。少なくとも下側傾斜面622の一部は、基板支持部632を構成する第1部材とは別の第2部材により構成され、第2部材は、第1部材よりも、最大静摩擦係数が低く且つ耐摩耗性が低い。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)