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1. (WO2018154706) 荷電粒子線装置
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国際公開番号: WO/2018/154706 国際出願番号: PCT/JP2017/007085
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 24.02.2017
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
20
物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
出願人:
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
菅野 誠一郎 KANNO Seiichiro; JP
安藤 浩幸 ANDOU Hiroyuki; JP
代理人:
戸田 裕二 TODA Yuji; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED-PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約:
(EN) The objective of the present invention is to provide a charged-particle beam device wherein suppressing the effects of static build-up is compatible with performing high-throughput measurements and examination. In order to achieve this objective, proposed is the charged-particle beam device equipped with an electrostatic chuck (803), comprising an electrometer (11) for measuring the electric potential of the electrostatic chuck, a charge removing device (805) for removing charge from the electrostatic chuck, and a control device (806) for controlling the charge removing device in such a manner that the charge removal by the charge removing device is executed after reaching a certain number of processed samples irradiated by the charged particle beam, or after a predetermined processing time. When the result of the electric potential measurement by the electrometer does not meet a predetermined condition, the control device executes at least one among increasing and decreasing the number processed or the processing time.
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel la suppression des effets d'accumulation d'électricité statique est compatible avec la réalisation de mesures et d'examen à haute vitesse. Pour atteindre cet objectif, l'invention propose un dispositif à faisceau de particules chargées équipé d'un mandrin électrostatique (803), comprenant un électromètre (11) permettant de mesurer le potentiel électrique du mandrin électrostatique, un dispositif d'élimination de charge (805) permettant d'éliminer la charge du mandrin électrostatique, et un dispositif de commande (806) permettant de commander le dispositif d'élimination de charge de façon que l'élimination de charge par le dispositif d'élimination de charge soit exécutée après avoir atteint un certain nombre d'échantillons traités irradiés par le faisceau de particules chargées, ou après une durée de traitement prédéterminée. Lorsque le résultat de la mesure de potentiel électrique par l'électromètre ne respecte pas une condition prédéterminée, le dispositif de commande exécute au moins une action parmi l'augmentation et la diminution du nombre traité ou de la durée de traitement.
(JA) 本発明は、測定、検査の高スループット化と帯電の影響の抑制の両立する荷電粒子線装置の提供を目的とする。この目的を達成するために、静電チャック(803)を備えた荷電粒子線装置であって、前記静電チャックの電位を計測する電位計(11)と、前記静電チャックを除電する除電装置(805)と、荷電粒子ビームが照射される試料の処理数、或いは所定の処理時間の後、前記除電装置による除電を実行するように除電装置を制御する制御装置(806)を備え、当該制御装置は、前記電位計による電位計測結果が所定の条件を外れた場合に、前記処理数、或いは処理時間の増加及び減少の少なくとも一方を実行する荷電粒子線装置を提案する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)