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1. (WO2018154705) 荷電粒子線装置

Pub. No.:    WO/2018/154705    International Application No.:    PCT/JP2017/007084
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 25 00:59:59 CET 2017
IPC: H01J 37/20
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: TANOKUCHI Akito
田ノ口 亮斗
KANNO Seiichiro
菅野 誠一郎
SHIBAYAMA Kei
芝山 慧
Title: 荷電粒子線装置
Abstract:
本発明は、静電チャック機構の吸着面に温度の異なる試料が載ることに起因する試料変形を抑制する荷電粒子線装置の提供を目的とする。本発明では、静電チャック機構を備えた荷電粒子線装置であって、荷電粒子ビームが照射される試料を当該荷電粒子ビームの照射位置に対して相対的に移動させるステージ(200)と、当該ステージ上に配置され、前記静電チャックの誘電層を構成する絶縁体(203)と、当該絶縁体を前記ステージ上で支持する第1の支持部材(402)と、前記試料周囲を包囲すると共に前記絶縁体に非接触に設置され、所定の電圧が印加されるリング状電極(400)と、当該リング状電極を支持する第2の支持部材(405)を備えた荷電粒子線装置を提案する。