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国際公開番号: WO/2018/154638 国際出願番号: PCT/JP2017/006449
国際公開日: 30.08.2018 国際出願日: 22.02.2017
IPC:
H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/05 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
244
検出器;関連の構成要素またはそのための回路
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
05
電子またはイオンをそれらのエネルギーに応じて分離するための電子光学的またはイオン光学的装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28
走査ビームを有するもの
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者: SATO Ryuju; JP
AGEMURA Toshihide; JP
NOMAGUCHI Tsunenori; JP
代理人: TODA Yuji; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約:
(EN) This charged particle beam device is provided with: a charged particle beam source that emits a primary charged particle beam; an objective lens that focuses the primary charged particle beam on a sample; a path electrode, which is disposed between the charged particle beam source and a leading end of the objective lens, and which comprises a metal member; a detector that detects secondary charged particles emitted from the sample; and a static electric field electrode electrically insulated from the path electrode. The path electrode is formed such that the primary charged particle beam passes through the inner side of the path electrode, and the static electric field electrode is formed so as to cover the outer periphery of the path electrode.
(FR) L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées comprenant : une source de faisceau de particules chargées qui émet un faisceau de particules chargées primaires; une lentille d'objectif qui focalise le faisceau de particules chargées primaires sur un échantillon; une électrode de trajet, qui est disposée entre la source de faisceau de particules chargées et une extrémité avant de la lentille d'objectif, et qui comprend un élément métallique; un détecteur qui détecte des particules chargées secondaires émises à partir de l'échantillon; et une électrode de champ électrique statique isolée électriquement de l'électrode de trajet. L'électrode de trajet est formée de telle sorte que le faisceau de particules chargées primaires passe à travers le côté intérieur de l'électrode de trajet, et l'électrode de champ électrique statique est formée de manière à recouvrir la périphérie extérieure de l'électrode de trajet.
(JA) 荷電粒子線装置は、一次荷電粒子線を放出する荷電粒子線源と、一次荷電粒子線を試料上に集束させる対物レンズと、荷電粒子線源と対物レンズ先端との間に設置され金属部材からなる通路電極と、試料から放出される二次荷電粒子を検出する検出器と、通路電極と電気的に絶縁された静電場電極と、を備え、通路電極は一次荷電粒子線が該通路電極の内側を通過するように形成され、静電場電極は通路電極の外周を覆うように形成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)