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1. (WO2018151147) 弾性波素子

Pub. No.:    WO/2018/151147    International Application No.:    PCT/JP2018/005063
Publication Date: Fri Aug 24 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 15 00:59:59 CET 2018
IPC: H03H 9/25
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: KISHINO, Tetsuya
岸野 哲也
ITO, Motoki
伊藤 幹
Title: 弾性波素子
Abstract:
複数の電極指を備え、弾性表面波を励振するIDT電極と、上面に前記IDT電極が位置しており、前記複数の電極指の繰り返し間隔の2倍で定義される弾性表面波波長λ未満の厚みである、圧電結晶からなる第1基板と、前記第1基板の下面に接合され、面方位が(100)面または(110)面、およびこれらに等価な面であるSi単結晶からなる基板であり、重ねあわせた前記第1基板の上面からみたときに、弾性波の伝搬方向に対して、前記Si単結晶の基板表面に平行な結晶軸が25°~65°、115°~155°、205°~254°および295°~345°のいずれかの角度で傾いている第2基板とを備える弾性波素子である。