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1. (WO2018150946) 微小流路のコーティング装置および微小流路のコーティング方法

Pub. No.:    WO/2018/150946    International Application No.:    PCT/JP2018/003972
Publication Date: Fri Aug 24 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 07 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 16/455
Applicants: ENPLAS CORPORATION
株式会社エンプラス
Inventors: NIWAYAMA, Akira
庭山 晃
Title: 微小流路のコーティング装置および微小流路のコーティング方法
Abstract:
本発明は、より流路径が小さい微小流路や、より流路長が長い微小流路にも、コーティング用のガスをより容易に導入可能な、微小流路のコーティング装置を提供することを目的とする。上記目的は、微小流路および前記微小流路を介して互いに連通する第1の開口および第2の開口を有する流体取扱装置が有する、前記第1の開口に接続可能なバッファーチャンバーと、前記微小流路の内壁面をコーティングする気体材料を前記バッファーチャンバーの内部に導入して、前記バッファーチャンバーの内部を加圧するためのガス導入部と、を有するコーティング装置によって解決される。