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1. (WO2018150698) パージストッカ
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国際公開番号: WO/2018/150698 国際出願番号: PCT/JP2017/044163
国際公開日: 23.08.2018 国際出願日: 08.12.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
出願人:
村田機械株式会社 MURATA MACHINERY, LTD. [JP/JP]; 京都府京都市南区吉祥院南落合町3番地 3, Minami Ochiai-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018326, JP
発明者:
藤原 義明 FUJIWARA Yoshiaki; JP
佐野 豪一 SANO Koichi; JP
徳本 光哉 TOKUMOTO Mitsuya; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2017-02912220.02.2017JP
発明の名称: (EN) PURGE STOCKER
(FR) DISPOSITIF DE STOCKAGE DE PURGE
(JA) パージストッカ
要約:
(EN) A purge stocker has a plurality of shelf zones including a plurality of purge shelves for performing purge processing of the interior of a mounted storage container using a purge gas. The purge stocker comprises a flow rate adjustment unit for adjusting the supply flow rate of purge gas to the plurality of purge shelves for each shelf zone, a conveying device for conveying the storage container, and a control unit for controlling the conveyance of the storage container by the conveying device. When there are scattered empty shelves of a designated shelf count or greater, which is the shelf count of the purge shelves included in one shelf zone, the control unit performs shelf replacement control that transfers the storage container using the conveying device so that an empty shelf zone is newly formed for which all of the included plurality of purge shelves are empty shelves.
(FR) L'invention concerne un dispositif de stockage de purge comportant une pluralité de zones d'étagère comprenant une pluralité d'étagères de purge pour effectuer un traitement de purge de l'intérieur d'un récipient de stockage monté à l'aide d'un gaz de purge. Le dispositif de stockage de purge comprend une unité de réglage de débit pour régler le débit d'alimentation du gaz de purge vers la pluralité d'étagères de purge pour chaque zone d'étagère, un dispositif de transport pour transporter le récipient de stockage, et une unité de commande pour commander le transport du récipient de stockage par le dispositif de transport. Lorsqu'il y a des étagères vides dispersés d'un nombre d'étagères désigné ou supérieur, qui est le nombre d'étagères des étagères de purge comprises dans une zone d'étagère, l'unité de commande effectue une commande de remplacement d'étagère qui transfère le récipient de stockage à l'aide du dispositif de transport de telle sorte qu'une zone d'étagère vide est nouvellement formée pour laquelle la totalité de la pluralité incluse d'étagères de purge sont des étagères vides.
(JA) パージストッカは、載置された格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する複数のパージ棚を含む棚ゾーンを複数有する。パージストッカは、複数のパージ棚へのパージガスの供給流量を棚ゾーン毎に調整する流量調整部と、格納容器を搬送する搬送装置と、搬送装置による格納容器の搬送を制御する制御部と、を備える。制御部は、1つの棚ゾーンに含まれるパージ棚の棚数である所定棚数以上の空棚が点在する場合、含まれる複数のパージ棚の全てが空棚である空棚ゾーンが新たに形成されるように、搬送装置により格納容器を移送させる棚入替制御を実行する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)