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1. (WO2018150598) 太陽電池セルの製造方法および太陽電池セル

Pub. No.:    WO/2018/150598    International Application No.:    PCT/JP2017/017399
Publication Date: Fri Aug 24 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue May 09 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 31/0224
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: DOI, Makoto
土井 誠
Title: 太陽電池セルの製造方法および太陽電池セル
Abstract:
太陽電池セルの製造方法において、電極材料である導電性材料を含むペーストを太陽電池セル用基板の電極形成面に塗布する塗布工程を含み、塗布工程は、太陽電池セル用基板を位置制御可能なステージ(104)に載置する基板載置工程と、ステージ(104)の第1方向の位置を制御する第1方向制御工程と、第1方向に直交するステージ(104)の第2方向の位置を制御するとともに、ペーストを吐出する吐出ノズル(103)を備えた液体塗布装置を使用して、吐出ノズル(103)からの時間当たりの吐出量で塗布量を制御しながらペーストを電極形成面に塗布するペースト吐出工程とを含むことを特徴とする。