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1. (WO2018150520) 部品保持装置
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国際公開番号: WO/2018/150520 国際出願番号: PCT/JP2017/005764
国際公開日: 23.08.2018 国際出願日: 16.02.2017
IPC:
H01L 21/67 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
出願人:
株式会社FUJI FUJI CORPORATION [JP/JP]; 愛知県知立市山町茶碓山19番地 19, Chausuyama, Yama-machi, Chiryu-shi, Aichi 4728686, JP
発明者:
柘植 邦明 TSUGE, Kuniaki; JP
代理人:
特許業務法人中部国際特許事務所 CHUBU PATENT OFFICE; 愛知県名古屋市中村区名駅南一丁目24番30号 名古屋三井ビルディング本館 10階 Nagoya Mitsui-Bldg. Honkan 10th Floor, 24-30, Meiekiminami 1-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4500003, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) COMPONENT HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN DE COMPOSANTS
(JA) 部品保持装置
要約:
(EN) This component holding device is configured by including: (A) component holding devices (40, 110) that hold components; (B) a holder 32 that removably holds, at a leading end of the holder, the component holding devices 40, 110, said leading end being in the axis line direction of the holder; (C) a holding device moving device 36, which advances/retracts the component holding devices 40, 110 by moving the holder 32 in the axis line direction; and (D) a device mounting state determining device, which detects the relative positions of the component holding devices 40, 110 with respect to the holder 32, said relative positions being in the axis line direction, and which determines, on the basis of the detection results, whether the component holding devices 40, 110 are suitably mounted to the holder 32. With the simple configuration and the simple method, whether the component holding devices 40, 110 are suitably mounted to the holder 32 can be determined.
(FR) Le dispositif de maintien de composants de l'invention comprend: (A) des dispositifs de maintien de composants (40, 110) qui maintiennent des composants; (B) un support (32) qui maintient amovible, au niveau de son extrémité avant, les dispositifs de maintien de composants (40, 110), ladite extrémité avant se trouvant dans le sens de la ligne axiale du support; (C) un dispositif de déplacement (36) des dispositifs de maintien qui fait avancer/reculer les dispositifs de maintien de composants (40, 110) en déplaçant le support (32) dans le sens de la ligne axiale; et (D) un dispositif de détermination d'état de montage des dispositifs qui détecte les positions relatives des dispositifs de maintien de composants (40, 110) par rapport au support (32), lesdites positions relatives se trouvant dans le sens de la ligne axiale, et qui détermine, sur la base des résultats de détection, si les dispositifs de maintien de composants (40, 110) sont montés de façon appropriée sur le support (32). Par la simplicité de la configuration et du procédé, il est possible de déterminer si les dispositifs de maintien de composants (40, 110) sont montés de façon appropriée sur le support (32).
(JA) (A)部品を保持する部品保持デバイス40,110と、(B)自身の軸線方向における先端において部品保持デバイス40,110を着脱可能に保持するホルダ32と、(C)そのホルダ32を軸線方向に移動させることで部品保持デバイス40,110を前進・後退させる保持デバイス移動装置36と、(D)部品保持デバイス40,110のホルダ32に対する軸線方向における相対位置を検出し、その検出結果に基づいて、部品保持デバイス40,110がホルダ32に適切に装着されているか否かを判定するデバイス装着状態判定装置とを含んで構成する。単純な構成でかつ簡便な手法によって、部品保持デバイス40,110がホルダ32に適切に装着されているか否かを判定することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)