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1. (WO2018150478) 基板検査用プローブ、基板検査装置、及びそれらを用いた基板検査方法

Pub. No.:    WO/2018/150478    International Application No.:    PCT/JP2017/005415
Publication Date: Fri Aug 24 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 16 00:59:59 CET 2017
IPC: G01R 1/067
G01R 31/02
Applicants: WIT CO., LTD.
WIT株式会社
Inventors: UTSUMI, Masato
内海 正人
Title: 基板検査用プローブ、基板検査装置、及びそれらを用いた基板検査方法
Abstract:
超小型の表面実装部品、特にチップ部品やQFP・LSIの電極に確実容易に接触可能な基板検査用プローブを提供する。 接触体(10)は、一対の接触部材(11,12)それぞれの先端(13,14)近傍に形成された傾斜端面の組み合わせによる凸部又は凹部(17)を備えている。一対の接触部材(11,12)のうち、一方は少なくとも傾斜端面が絶縁体(11)、他方は良導体による接触電極(12)で構成される。凸部又は凹部(17)は、被検査基板(70)に実装された表面実装部品(R1,C1,R2,)の端子電極(1,2)に傾斜端面で接触可能である。絶縁体(11)が端子電極(1,2)の一方に当接することで、接触体(10)は表面実装部品(R1,C1,R2)に対して位置決めされる。すると、接触電極(12)が端子電極(1,2)の他方に接触導通して検査回路(90)へ電気接続される。