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1. (WO2018150446) 測定装置、測定方法

Pub. No.:    WO/2018/150446    International Application No.:    PCT/JP2017/005250
Publication Date: Fri Aug 24 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 15 00:59:59 CET 2017
IPC: H05K 13/08
G01R 31/00
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: SAWADA, Toshiyuki
澤田 利幸
Title: 測定装置、測定方法
Abstract:
測定装置において、仮に、部品が小さくても、電気的特性を良好に測定可能とすることである。 本測定装置においては、部品保持部の少なくとも一部が帯電防止材で形成された帯電防止部とされる。帯電防止部の表面抵抗は大きいため、部品が帯電防止部によって保持された状態で、その部品の電気的特性を測定することができる。その結果、仮に、部品が小さくても、部品の飛散を防止し、電気的特性を良好に測定することができる。