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1. (WO2018147246) 治具

Pub. No.:    WO/2018/147246    International Application No.:    PCT/JP2018/003892
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 07 00:59:59 CET 2018
IPC: G01R 1/06
G01R 1/067
Applicants: KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
株式会社日本マイクロニクス
Inventors: SHUTO Akihiro
首藤 晃寛
Title: 治具
Abstract:
特別な保持装置を使用することなく、電気的接続装置からのプローブヘッドの取り外し及び取り付けを可能とする治具を提供する。治具(50)は、被検査体とその検査装置とを電気的に接続する電気的接続装置(10)に適用される。電気的接続装置は配線基板(22)と配線基板に複数の止めねじ(26)で固定された、磁性体からなる複数のプローブ(34)を含むプローブヘッド(28)とを備える。治具(50)は、プレート(52)と、プレートに取り付けられた磁石(54)とを備える。プレートはプローブヘッドに対し脱着自在に取り付け可能であり、磁石はプローブの下端部(34b)に対向する。