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1. (WO2018147191) 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法

Pub. No.:    WO/2018/147191    International Application No.:    PCT/JP2018/003627
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 03 00:59:59 CET 2018
IPC: F04D 19/04
Applicants: EDWARDS JAPAN LIMITED
エドワーズ株式会社
Inventors: MITSUHASHI Keita
三橋 啓太
OOKI Toshiyuki
大木 俊幸
Title: 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法
Abstract:
【課題】質量除去によるバランス修正において、応力集中を低減する構造を有する真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法を実現する。 【解決手段】本実施形態では、回転円筒体の下端部(排気口側)の少なくとも一部を軸方向に切削することでアンバランス修正部(除去部)を形成する。好ましくは、除去部は、回転円筒体の下端部において、回転円筒体の軸方向幅を可能な限り浅く削り、かつ、回転円筒体の周方向幅を当該回転円筒体の厚み(径方向の幅)以上になるように回転円筒体を削ることで形成される。さらに、除去部に形成される角は大きく(たとえば、R3以上で)形成する。この構成により、回転円筒体に、当該回転円筒体の軸方向の除去幅(深さ)が浅く、且つ周方向の除去幅が広い形状を有する除去部を形成するので、真空ポンプにおけるバランス修正後の応力集中を低減・緩和することができる。