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1. (WO2018147183) 搬送装置、搬送方法及び記憶媒体

Pub. No.:    WO/2018/147183    International Application No.:    PCT/JP2018/003583
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 03 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/677
B65G 49/07
H02P 29/024
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: MAKI, Junnosuke
牧 準之輔
MORI, Hirotoshi
森 弘明
TERAMOTO, Akihiro
寺本 聡寛
Title: 搬送装置、搬送方法及び記憶媒体
Abstract:
【課題】モータの回転駆動力により被搬送体を支持した支持部を移動させることによって当該被搬送体を搬送するにあたり、搬送状態の異常を確実に検出することができる技術を提供すること。 【解決手段】被搬送体Wを支持部21により支持して搬送する搬送装置F3において、モータ35と、前記支持部21が設けられると共に当該モータ31の回転駆動力により直線移動する直動体30と、を含む駆動機構3と、前記支持部21の移動中に前記モータ31のトルクについての時系列データを取得し、当該時系列データをフーリエ変換して得られる周波数スペクトルに基づいて搬送状態の異常を検出する異常検出部6と、を備えるように構成する。