国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018146987) ストッカ

Pub. No.:    WO/2018/146987    International Application No.:    PCT/JP2018/000436
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 12 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/673
B65G 1/00
Applicants: MURATA MACHINERY, LTD.
村田機械株式会社
Inventors: KUSAMA, Yu
草間 侑
GOTO, Fumiki
後藤 史樹
Title: ストッカ
Abstract:
【課題】保管領域に効率的にエアフローを形成して保管領域の清浄度を確保する。 【解決手段】ストッカ100は、ストッカ内外を区画する壁部11と、壁部11の内側に配置され、物品Mが保管される保管領域12と、保管領域12の壁部11側に配置され、上下方向に延在するダクト13と、ダクト13の上端に設けられ、下方に向けて流れる空気をダクト13に導入する導入口13aと、ダクト13の上側と下側との間の空気の流通を規制する流通規制部13bと、ダクト13の保管領域12側に設けられ、保管領域12に空気を噴き出す噴出口13c、13dと、ダクト13のうち流通規制部13bの下側に設けられ、外部の空気を吸引してダクト13内に導入するファン14と、を備える。