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1. (WO2018146883) 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置

Pub. No.:    WO/2018/146883    International Application No.:    PCT/JP2017/040850
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 15 00:59:59 CET 2017
IPC: H03H 9/145
H03H 9/25
H03H 9/64
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: YAMANE, Takashi
山根 毅
Title: 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置
Abstract:
電極指ピッチで定まる波長が異なる複数のIDT電極を有するが、少なくとも2つのIDT電極間で温度特性の差を小さくすることができる、弾性波装置を提供する。 伝搬するバルク波の音速が圧電薄膜5を伝搬する弾性波の音速より高速である高音速部材に直接または間接に圧電薄膜5が積層されている。圧電薄膜5上に酸化ケイ素膜6が積層されており、酸化ケイ素膜6上に、複数のIDT電極11,12が積層されており、複数のIDT電極11,12が、電極指ピッチで定まる波長が異なる複数のIDT電極11,12を有する。複数のIDT電極11,12のうち、波長が最も短いIDT電極の波長をλ、圧電薄膜5の波長λに対する割合である波長規格化膜厚(%)をy、酸化ケイ素膜6の波長λに対する割合である波長規格化膜厚(%)をxとした場合、yは350%以下であり、かつy<1.6x(-0.01)+0.05x(-0.6)-1である、弾性波装置1。