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1. (WO2018146857) 応力の測定方法、応力測定装置および応力測定システム

Pub. No.:    WO/2018/146857    International Application No.:    PCT/JP2017/036067
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 1/00
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventors: IRIE Yousuke
入江 庸介
INOUE Hirotsugu
井上 裕嗣
NIIOKA Takuya
新岡 琢也
Title: 応力の測定方法、応力測定装置および応力測定システム
Abstract:
応力測定方法は、測定対象物を複数の振動周波数で加振し、温度センサで測定対象物の温度振幅を測定する。そして、基板とコーティング膜両方の熱伝導および熱弾性効果に基づくコーティング膜表面の温度振幅の理論解を示す下記の一次元の熱伝導方程式に基づいて、複数の振動周波数によって得られる熱弾性効果に基づく温度変化成分および位相成分の周波数特性に関して、温度振幅の測定値に対するカーブフィッティングを行うことによって熱伝導方程式のパラメータを同定する。そして、同定したパラメータに基づき測定対象物の応力を求める。