国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018146824) アンモニア水溶液の製造装置及びアンモニア水溶液の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/146824    International Application No.:    PCT/JP2017/009432
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 10 00:59:59 CET 2017
IPC: C02F 1/68
B08B 3/08
C02F 1/42
Applicants: KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
栗田工業株式会社
Inventors: OGAWA Yuuichi
小川 祐一
Title: アンモニア水溶液の製造装置及びアンモニア水溶液の製造方法
Abstract:
アンモニア水溶液製造装置は、超純水製造装置から供給される超純水にアンモニア供給装置からアンモニアを供給して溶解させることで希薄アンモニア水溶液を製造し、このアンモニア水溶液をユースポイントに供給する。ここで、超純水製造装置は、抵抗値が18MΩ・cm以上で、金属イオン濃度が1ng/L以下、特に0.1ng/L以下の超純水Wを供給する能力を有するものである。そして、超純水Wにアンモニア供給装置からアンモニアを添加して希薄アンモニア水を製造する。このアンモニア水溶液製造装置は、アンモニア(アンモニウムイオン)の濃度が100mg/L以下、特に50mg/L以下の希薄アンモニア水の製造に好適である。かかるアンモニア水溶液製造装置は、安定した濃度でアンモニア水溶液を製造することができ、濃度の変更に対する追従性に優れている。