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1. (WO2018143419) 液体供給システム

Pub. No.:    WO/2018/143419    International Application No.:    PCT/JP2018/003630
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 03 00:59:59 CET 2018
IPC: F04B 15/08
F04B 43/08
F25B 9/00
Applicants: EAGLE INDUSTRY CO., LTD.
イーグル工業株式会社
Inventors: FURUTA, Kiyotaka
古田 清隆
OSAWA, Yoshio
大澤 芳夫
MORI, Koichi
森 浩一
Title: 液体供給システム
Abstract:
予冷に費やす時間を短くし、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることのできる液体供給システムを提供する。 容器(130)は、第1ポンプ室(P1)及び第2ポンプ室(P2)を通る流路が形成される第1ケース部(131)と、第1ケース部(131)の外壁面を取り囲むように設けられる第2ケース部(132)と、を備えており、第1ケース部(131)と第2ケース部(132)との間の空間(第4空間K4)は、予冷用の超低温液体が流通可能に構成されていることを特徴とする。